光明区声表面谐振器体声波谐振器

声表面波器件是在压电基片上制作两个声一电换能器——叉指换能器。所谓叉指换能器，就是在压电基片表面上形成形状像两只手的手指交叉状的金属图案，它的作用是实现声一电换能。声表面波器件的工作原理是，基片左端的换能器(输入换能器)通过逆压电效应将愉入的电信号转变成声信号，此声信号沿基片表面传播，后由基片右边的换能器(输出换能器)将声信号转变成电信号输出。整个声表面波器件的功能是通过对在压电基片上传播的声信号进行各种处理，并利用声一电换能器的待性来完成的。手机的通信模块中有很多声表面波滤波器。光明区声表面谐振器体声波谐振器

体声波滤波器工艺FBAR与SMR-BAW对比。 目前 BAW 工艺有两种实现方式： 薄膜体声波谐振器（FBAR，film bulk acoustic resonator）以及固体装配型体声波谐振器（BAW-SMR，solidly mounted resonator）。 二者主要的区别在于声能的反射方式上的区别： FBAR依靠一个支持层与衬底之间的气腔实现能量反射，而BAW-SMR依赖衬底之上的布拉格反射板实现能量的反射。 在工艺上，FBAR更接近MEMS，而SMR更接近于集成电路的实现方式。 FBAR 工艺能够提供相对较好的能量反射，因此FBAR可以提供更大的带宽，即稍好的滤波性能，但是该差距不大。 而对于BAW-SMR型滤波器，因为其结构中有一条导热通路通向衬底，可以很好地通过衬底散热。 而 FBAR 由于谐振器每面都有气隙，因此导热能力较弱。 以Qorvo公司为的BAW-SMR滤波器供应商可以提供接近零温度漂移的滤波器。白云区声表面谐振器和石英晶振声表谐振器在抑制电子设备高次谐波、镜像信息、发射漏泄信号，及各类寄生杂波干扰等方面起到了良好的作用。

二，由于声表面波系沿固体表面传播，加上传播速度极慢，这使得时变信号在给定瞬时可以完全呈现在晶体基片表面上。于是当信号在器件的输入和输出端之间行进时，就容易对信号进行取样和变换。这就给声表面波器件以极大的灵活性，使它能以非常简单的方式去.完成其它技术难以完成或完成起来过于繁重的各种功能。比如脉冲信号的压缩和展宽，编码和译码以及信号的相关和卷积。一个实际例子是1976年报道的一个长为一英寸的声表面波卷积器，它具有使两个任意模拟信号进行卷积的功能，而它所适应的带宽可达100MHz，时带宽积可达一万。这样一个卷积器可以代替由几个快速傅里叶变换(FFT)链作成的数字卷积器，即实际上可以代替一台卷积计算机。此外，在很多情况下，声表面波器件的性能还远远超过了比较好的电磁波器件所能达到的水平。比如，用声表面波可以作成时间-带宽乘积大于五千的脉冲压缩滤波器，在UHF频段内可以作成Q值超过五万的谐振腔，以及可以作成带外抑制达70dB、频率达1低Hz的带通滤波器。

声表面波型的高频晶体谐振器即为声表面波谐振器，是利用压电效应和表面波传播的物理特性所制成的一种射频芯片，与声表面波滤波器的结构与工作原理一致。作为频率选择和控制的芯片，谐振器广泛应用于各种电子产品中。声表面波谐振器主要适用于频率相对较高的315MHz、433MHz等频段，应用范围覆盖汽车遥控、智能家居等领域。随着未来相关领域的新增和更新需求的稳定增长，声表面波谐振器亦具有较好的市场前景。声表面波(SAW)谐振器主要功用在于把杂讯滤掉，比传统的LC滤波器安装更简单、体积更小。SAW声表面波元件的制作可分为晶圆清洗、镀金属膜、上光阻、显影、蚀刻、去光阻、切割、封装、等相关步骤，具有可大量生产、损耗低及选择性高，适用于各型手机等特点。有性能稳定、尺寸小的特点，主要应用于无线设备。声表滤波器中的FL系列主要应用于蜂窝如移动通讯、接收器等。FM系列有低损耗性、**度的排他性以及对外部阻抗的低匹配性。声表面谐振器特性:低系列阻值，石英稳定性，小尺寸。

早期声表面谐振器的缺陷是插入损耗大（一般在15dB以上），而这对于要求低功耗的通信设备特别是接收前端是完全无法接受的。为满足现代通信系统及其它用途的要求，人们通过开发高性能的压电材料和改进IDT设计，使器件的插入损耗降低到3dB～4dB，可达1dB。而在众多压电材料研究成果中，更为引人注目的是日本村田制作所发明的ZnO/蓝宝石层状结构基片材料，利用这种基片材料，已制造出1.5GHzPDC用射频声表面谐振器，其插入损耗只1.2dB。经过一次电声转换SAW传播和声电转换的过程之后传输的信号在250MHz临近频带以外的成分将会得到极大的衰减。海珠区声表面谐振器在ad中

与芯片的制造一样，SAW滤波器的工艺和设计同等重要。光明区声表面谐振器体声波谐振器

声表面波滤波器市场成长的驱动因素：①单机声表面波滤波器的需求量不断提升：单机滤波器的需求量随着通信制式升级而提升。通信技术从2G发展至5G，手机通信频段数目从2G的4个频段上升到5G的50多个频段，每新增一个频段将需要增加相应频段的滤波器，因此频段数量的增加将会带动滤波器市场需求量的增长。上层4G手机的滤波器用量一般不超过40颗，目前5G手机发展尚处早期，单机的滤波器用量需求超过70颗，相比4G手机单机滤波器用量提升80%甚至更多。②单机声表面波滤波器的价值量不断提升：单机滤波器的价值量随着产品技术升级而提升。在滤波器用量增长但手机内部空间有限的情况下，5G时代的滤波器将会趋向小型化和模组化。滤波器的升级发展将对其在芯片设计、制造和封装测试等方面提出更高要求，从而推动单机声表面波滤波器的价值量不断提升。光明区声表面谐振器体声波谐振器

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